檢漏步驟為: 若步驟1和2均未檢出漏點，就要考慮各個真空泵性能的問題，首要檢查機械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機械泵的閥片,通過向機械泵排氣口噴吹氦氣來檢測其閥片的密封性。擴散泵油或擴散泵加熱器異常也會造成極限壓不合格。還應檢查真空計是否準確以及真空系統(tǒng)設計是否滿足技術要求。
尋求一種合適的檢漏方法，對汽輪機真空系統(tǒng)進行行之有效的檢漏和堵漏工作，提高機組的真空嚴密性及真空已成為改善機組運行狀況、節(jié)能降耗以及機組安全運行的一項重要工作。 氦質(zhì)譜檢漏技術是一種 應用于國內(nèi)外對真空容器檢漏的先進技術，氦質(zhì)譜檢漏技術的高靈敏度和無損性早已成功地應用于航天、電子、制冷等領域。應用氦質(zhì)譜檢漏技術對火電廠汽輪機真空系統(tǒng)進行檢漏的方法，近幾年已在電力生產(chǎn)中逐漸推廣應用。
氦質(zhì)譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術中較成熟的設備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護，氦質(zhì)譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。氦質(zhì)譜檢漏設備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上， 由近而遠的順序進行。對檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；
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